Bộ điều khiển lưu lượng - Mass Flow Controller (MFC) là gì? Nó chính là thiết bị chính xác chất lượng cao được nghiên cứu & phát triển có khả năng đáp ứng được những yêu cầu khắt khe trong quy trình sản xuất chất bán dẫn, thiết bị y tế - dược phẩm, hóa dầu, quy trình phun sơn & mạ,...
Thiết bị điều tiết lưu lượng MFC nổi tiếng và được ưa chuộng nhất đến từ thương hiệu Horiba. Kết quả thị phần chiếm ưu thế toàn thế giới phản ánh được chất lượng của sản phẩm bộ điều tiết lưu lượng Horiba.
Thị trường bộ điều tiết lưu lượng khối MFC chính hãng Horiba
Thị trường bộ điều tiết lưu lượng khối - Mass Flow Controller với sự cạnh tranh của 3 ông lớn là:Horiba, Bronkhorst High-Tech và Brooks Instrument. Trong đó, thiết bị của nhà sản xuất Horiba hiện đang dẫn đầu về mọi mặt.
1. Horiba
Là thương hiệu được xếp hạng đầu tiên trong thị trường bộ điều tiết lưu lượng khối MFC vào năm 2019. Horiba cung cấp đa dạng thiết bị và hệ thống như hệ thống đo khí thải ô tô, thiết bị đo môi trường, nhiều loại máy phân tích khoa học, máy phân tích chẩn đoán y tế và thiết bị đo lường được sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn.
Không chỉ 1 loại MFC được cung cấp bởi Horiba mà bao gồm rất nhiều Model bộ điều khiển lưu lượng khí và chất lỏng như:
- Dòng SEC-E (bộ điều khiển và đồng hồ đo lưu lượng khí đơn dòng giá trị)
- Dòng SEC-Z (bộ điều tiết lưu lượng kỹ thuật số đa dải khí)
- Dòng SEC-8000 F / D / E (Bộ điều tiết lưu lượng khối kỹ thuật số nhiệt độ cao).
Các đại lý phân phối của Horiba có mặt mạnh mẽ trên toàn thế giới ở Nhật Bản, Hoa Kỳ, Trung Quốc và Châu Á. Tại Việt Nam, hiện Asin chính là đại lý phân phối độc quyền sản phẩm bộ điều tiết lưu lượng MFC Horiba được lựa chọn.
2. Bronkhorst High-Tech
Bronkhorst High-Tech là đơn vị xếp hạng thứ 2 trong thị trường phân phối sản phẩm Mass Flow Controller (MFC) năm 2019.
Công ty là nhà cung cấp toàn cầu về lưu lượng và đồng hồ đo áp suất / bộ điều khiển cho khí và chất lỏng với nhiều dòng sản phẩm đa dạng, bao gồm:
- Bộ điều tiết lưu lượng khí;
- Bộ điều tiết lưu lượng chất lỏng;
- Thiết bị đo và bộ điều khiển Coriolis;
- Đồng hồ đo áp suất và bộ điều khiển;
- Hệ thống phân phối hơi, van điều khiển;
- Phụ kiện và phần mềm;
- Thiết bị hiệu chuẩn;
- Công nghệ Fieldbus kỹ thuật số
Các sản phẩm này được sử dụng trong các ngành công nghiệp, cụ thể là hóa dầu, nhựa, kim loại và thủy tinh, y tế, năng lượng, phân tích, xử lý bề mặt, thực phẩm và đồ uống, dược phẩm, dầu khí và chất bán dẫn.
3. Brooks Instrument
Sức cạnh trang và thị phần của Thiết bị bộ điều tiết lưu lượng khối MFC đến từ nhà sản xuất Brooks Instrument được xếp thứ 3. Để đủ sức mạnh cạnh tranh, tất nhiên các dòng sản phẩm của Brooks Instrument cũng được đánh giá khá cao và uy tín.
Theo phân tích, thị phần sản phẩm Mass Flow Controller Horiba chiếm đến 60% trong toàn dải thị phần trên toàn thế giới. Bộ điều tiết lưu lượng khối Horiba có khả năng thay thế hoàn hảo đối các model hãng khác.
Ngoài ra, thiết bị MFC chính hãng Horiba còn có nhiều ưu điểm nổi bất xứng danh thương hiệu hàng đầu thế giới.
Phân loại bộ điều tiết lưu lượng MFC chính hãng Horiba
Bộ MFC Horiba có sự phân loại theo tính chất đối tượng kiểm soát, cụ thể là chất khí và chất lỏng. Ứng với từng đối tượng kiểm soát khác nhau thì bộ điều tiết có nguyên tắc hoạt động khác nhau.
Nguyên tắc hoạt động của bộ điều tiết lưu lượng khí MFC Horiba
Bộ điều tiết lưu lượng khí MFC Horiba cung cấp khả năng linh hoạt trong xử lý và điều tiết lưu lượng dòng khí đa dạng, khác nhau: N2, O2, H2, Ar, C2H4, HF, SiH4, SF6,...Hơn thế nữa, kiểm soát lưu lượng dòng khí, nó sẽ không bị ảnh hưởng bởi điều kiện bên ngoài (nhiệt độ, áp suất) mà làm thay đổi sự chính xác.
Nguyên tắc hoạt động của thiết bị điều tiết lưu lượng khí MFC:
- Khí đi vào từ đầu vào, trước tiên tách ra để chảy qua cảm biến hoặc qua đường vòng.
- Tại cảm biến, tốc độ dòng chảy khối lượng được phát hiện là sự thay đổi theo tỷ lệ của nhiệt độ và được các mạch cầu chuyển đổi thành tín hiệu điện.
- Tín hiệu này đi qua các mạch khuếch đại và hiệu chỉnh, và được xuất ra dưới dạng điện áp tuyến tính từ 0 đến 5V. Đồng thời, nó cũng được gửi đến các mạch điều khiển so sánh.
- Mạch điều khiển so sánh sẽ so sánh tín hiệu cài đặt tốc độ dòng chảy và tín hiệu cài đặt dòng chảy xoay chiều từ cảm biến và gửi tín hiệu chênh lệch đến mạch dẫn động van.
- Van điều khiển tốc độ dòng chảy di chuyển khi thích hợp để làm cho sự khác biệt giữa điểm đặt dòng chảy quy định và tín hiệu đầu ra của dòng chảy về gần bằng không. Nói cách khác, thiết bị kiểm soát dòng chảy để nó luôn ở tốc độ dòng chảy đã đặt.
Thị trường bộ điều khiển lưu lượng khí đang chứng kiến sự phát triển về mặt công nghệ không dây cho phép hoạt động từ xa, cung cấp khả năng kiểm soát tốt hơn đối với hệ thống. Thiết kế của thiết bị tương đối nhỏ gọn và dễ dàng cài đặt trong các hệ thống ứng dụng.
Nguyên tắc hoạt động của bộ điều tiết lưu lượng chất lỏng MFC Horiba
Bộ điều tiết lưu lượng khối chất lỏng được thiết kế và hiệu chỉnh để điều khiển một loại chất lỏng cụ thể ở một phạm vi tốc độ dòng chảy cụ thể. Các bộ điều khiển lưu lượng chất lỏng có sẵn với giao tiếp tương tự và kỹ thuật số.
Nguyên tắc hoạt động của bộ điều tiết lưu lượng chất lỏng MFC khá đơn giản. Việc kiểm soát lưu lượng được thực hiện bằng cách tích hợp một van điều khiển vào thân của thiết bị đo lưu lượng chất lỏng.
Thiết bị sử dụng phương pháp đo làm mát để thực hiện quá trình đo, phân tích và kiểm soát lưu lượng dòng chất lỏng đi qua. Cảm biến được trang bị trong bộ điều tiết có độ nhạy cao. Khi chất lỏng đang chảy, cảm biến sẽ phát hiện mức tăng nhiệt độ tương ứng với tốc độ dòng chảy và hiển thị nó dưới dạng tốc độ dòng chảy.
Không giống như các phương pháp bổ sung nhiệt, phương pháp làm mát này cho phép đo tốc độ dòng chảy của chất lỏng có điểm sôi thấp. Nó cũng ngăn ngừa các vấn đề về nhiễu do ảnh hưởng của phóng điện thứ cấp (hóa hơi) và thực hiện các phép đo tốc độ dòng chảy chính xác.
Bộ điều tiết lưu lượng MFC Horiba chính là sản phẩm hội đủ đầy đủ các chức năng, giá trị các ngành công nghiệp đòi hỏi sự khắt khe về độ chính xác, khả năng đo và phân tích nhanh nhạy, trộn hỗn hợp đối tượng khí theo yêu cầu như: công nghiệp bán dẫn, năng lượng mặt trời, quy trình sản xuất sợi quang trong thiết thị điện, quy trình xi mạ, công nghệ nano, dược phẩm,...
