Trang chủ
Về Havi
Sản phẩm
Tin tức
Gửi báo giá
Liên hệ
Máy đo quang phổ SMART SE
Smart SE từ HORIBA Scientific là một đồng hồ quang phổ đa năng để đo màng mỏng nhanh và chính xác. Nó đặc trưng cho độ dày màng mỏng từ một vài Angstrom đến 20µm, các hằng quang học (n,k), và các đặc tính cấu trúc màng mỏng (như độ gồ ghề, các lớp quang học và các lớp không hướng, v.v.)
Phạm vi quang phổ từ 450 đến 1000nm được đo trong vài giây và dữ liệu elipometric được phân tích bằng cách sử dụng nền tảng phần mềm DeltaPsi2. Phần mềm này tích hợp hai mức phần mềm để thực hiện cả phân tích hàng ngày với công thức được xác định trước và phân tích cao cấp với mô hình elipometric hiện đại.
Smart SE elipsometer là một công cụ R&D hiệu quả về mặt chi phí mà không bị ảnh hưởng bởi các tính năng, và cung cấp hiệu suất nghiên cứu với giá rẻ. Nó cung cấp một hệ thống tầm nhìn tích hợp để định vị điểm chính xác, bảy vi điểm tự động với kích thước từ vài chục micron để đo các tính năng nhỏ, và khả năng đo ma trận 16 phân tử Mueller chỉ trong vài giây để nghiên cứu các mẫu phức tạp.
Thiết kế linh hoạt của Smart SE cho phép tự động hóa toàn bộ giai đoạn mẫu và máy đo GPS cũng như việc sử dụng tại chỗ trên các phòng xử lý. Nó phù hợp với mọi ứng dụng hoặc ngân sách cho nhiều lĩnh vực ứng dụng khác nhau bao gồm vi điện tử, quang điện, màn hình, phủ quang học, xử lý bề mặt và hợp chất hữu cơ.
Tính năng nổi bật :
• Nhanh và chính xác
• Dễ dàng nâng cấp
• Hình ảnh hoá mẫu vật của bạn.
Thông số kỹ thuật :
|
|
|
||
|
Spectra range: |
450nm to 1000nm |
|
|
|
Spectra resolution |
Better than 3nm |
|
|
|
Light source |
Combined Halogen and Blue LED |
|
|
|
Measurement time |
<1sec to 10 sec |
|
|
|
Beam size |
75µm * 150µm, 100µm * 250µm, 100µm * 500µm, 150µm * 150µm, 250µm * 250µm, 250µm * 500µm, 500µm*500µm |
|
|
|
Angle of incidence |
450 to 900 by step of 50 |
|
|
|
Sample size |
Up to 200mm |
|
|
|
Sample alignment |
Manual 17mm height adjustement and tilt |
|
|
|
Dimensions |
100cm * 46cm * 23cm(W*H*D) |
|
|
|
Performances |
|||
|
Straight-through air accuracy |
Ψ=450±0.050 Δ=00±0.20 |
||
|
Thickness accuracy on 1000 Å Oxide |
0.04% |
||
|
Thickness repeatability on 1000 Å Oxide |
±0.02% |
||
