Cơ thể được thiết kế nhỏ gọn với không gian chết tối thiểu Vật liệu cơ thể tuân thủ
SEMI F-20, "Đặc điểm kỹ thuật 316LSS Vật liệu cho UHP (Độ tinh khiết cực cao)
Ứng dụng sản xuất chất bán dẫn cấp" Công suất dòng chảy tối đa
Tạo hạt tối thiểu Đóng góp tối thiểu của độ ẩm, oxy và
hydrocarbon với quy trình làm sạch đặc biệt của UNILOK trong một sạch được chứng nhận
phòng Mức độ hoàn thiện tuyệt vời của các khu vực bị ướt với đánh bóng điện riêng của UNILOK
xử lý vật liệu màng Elgiloy® với độ bền mạnh mẽ cũng như
chống ăn mòn cho tuổi thọ dài Vật liệu ghế PCTFE với đáng chú ý
khả năng chịu hóa chất và nhiệt
| Không. |
Sự miêu tả |
Vật liệu |
| Loại Hoạt động |
Cẩm nang |
Khí nén |
| 1 |
Thân thể |
316LSS |
316LSS |
| 2 |
Ghế |
PCTFE |
PCTFE |
| 3 |
Cơ hoành |
Elgiloy |
Elgiloy |
| 4 |
Ống lót |
316SSS |
316SSS |
| 5 |
Nút |
316SSS |
316SSS |
| 6 |
Gốc |
316SSS |
- |
| 7 |
Bonnet |
316SSS |
- |
| 8 |
Đai ốc bảng điều khiển |
316SSS |
- |
| 9 |
Chỉ báo |
Polyester |
- |
| 10 |
Cán |
Nhốm |
- |
| 11 |
Actuator |
- |
Nhốm |
Mức độ hoàn thiện bề mặt bên trong
| Sự miêu tả |
Kết thúc serface [μmm] |
|
| |
Trung bình |
Tối đa |
| BA |
< 0,4 |
< 1.6 |
| EP |
<0,125 |
< 0,4 |
